諾信MARCH的AP-1000系統專為滿足高性能制造環境下24小時操作嚴格要求而設計，可實現均勻等離子體處理，安全穩定且操作簡便。
AP-1000型采用緊湊式設計，占地面積小，真空泵、腔體和電氣控制件以及13.56MHZ射頻電源都整合在設備內部，設備前部可方便完成操作維護，帶有腳輪的真空泵裝置方便檢修。
等離子腔采用美規11標號的不銹鋼和鋁支架制造，堅久耐用。腔內可調整的電極組根據不同的產品載具，包括料盒、托盤、晶圓、晶舟等可靈活組合配置。
搭配HTP(高產能)電極的AP-1000等離子系統是綜合了March特有的電極設計和AP-1000的高可靠性及其優良的工藝性。AP-1000 HTP充分利用了射頻等離子產生的活性離子，不僅縮短工藝時間而且提高處理均勻性。
AP-1000HTP配備4路氣體流量控制器，因工藝需求可選用不同的氣體包括氬氣、氫氣和氦氣等。
開槽式料盒可豎放于工藝腔內，通常每個料盒最少可放置20條引線框，根據料盒尺寸大小，一爐可最多放置12個料盒。
| 項 目 | 內 容 | |
| 外 殼
尺 寸 |
占地面積W(寬) x D 長) x H 高) | 0.68米寬 x 1.127米長 x 1.89米高 |
|---|---|---|
| 凈 重 | 485 公斤 (1069磅) | |
| 設備間隙 | 右邊、左邊-至少153 毫米，前面- 至少680毫米，后面-至少483毫米 | |
| 處 理
腔 體 |
最大容量 | 127升 |
| 多種電極配置 | 電源-接地，接地-電源，電源-電源 | |
| 電極插槽數 | 14 | |
| 電極間距 | 25.4 600W) 50.8 毫米 (1000W) |
|
| 電 極 | 電源電極面積 | 349毫米寬x 425毫米長 |
| 多孔接地電極面積 | 384毫米寬x 425毫米長 | |
| 懸浮電極面積 | 349毫米寬x 425毫米長 | |
| 射 頻 功 率 |
標配電源 | 600 W |
| 選配電源 | 1000 W | |
| 頻率 | 13.56 MHZ | |
| 氣 體 控 制 |
流量計 | 10、25、50、100、250、500、1000、2000或5000標準毫升/分鐘 |
| MFC最多可配置數 | 4 | |
| 控制和 接 口 |
軟件控制 | PLC控制，配有觸摸屏界面 |
| 遠程接口 | PlasmaLINK、ProcessLINK、SECS/GEM接口 | |
| 真空泵 | 標配油泵 | 1500升/分鐘，配有氧油除霧器 |
| 選配油泵 | 1500升/分鐘，配有防銹油除霧器 | |
| 選配干泵 | 1784升/分鐘 | |
| 干泵凈化氮氣用量 | 14升/分鐘 | |
| 干泵冷卻水用量 | 5升/分鐘 | |
| 設 施 | 電源 | 220伏，25安，50/60 赫茲，3相， 8 AWG，4線；380伏，25安，50/60 赫茲，3相， 8 AWG，5線 |
| 工藝氣體管徑及接口 | 外徑6.35 毫米(0.25英寸)Swagelok管 | |
| 工藝氣體純度 | 實驗室或電子等級 | |
| 工藝氣體壓力 | 最小0.069兆帕至最大0.103兆帕，可調節 | |
| 凈化氣體管徑及接口 | 外徑6.35 毫米(0.25 英寸) Swagelok管 | |
| 凈化氣體純度 | 實驗室或電子等級N2/CDA | |
| 凈化氣體壓力 | 最小0.2兆帕至最大0.69兆帕，可調節 | |
| 氣動閥接口及管徑 | 外徑6.35 毫米(0.25 英寸)Swagelok管 | |
| 壓縮空氣純度 | CDA、無油、露點溫度 ≤7℃ ，粒徑＜5微米 | |
| 壓縮空氣壓力 | 最小0.345兆帕至最大0.689兆帕，可調節 | |
| 排放 | 外徑38 毫米(1.5英寸)管道法蘭 | |
| 合規性 | 半導體 | 通過SEMI S2/S8 (環境、健康和安全/人體工學)認證 |
| 國際 | 通過CE認證 | |
| 輔 助 設 備 |
氣體發生器 | 氮氣、氫氣(需要其他不可選硬件) |
| 設施 | 冷卻器、洗滌器 | |
