91精品国产高清自在线,久久亚洲综合av,中文在线播放一区二区

Nordson MARCH最新FlexTRAK -CDS等離子系統(tǒng)

詳情說明

MARCH FlexTRAK-CD
FlexTRAK-CDS

適用于半導體封裝應用的高產能等離子工藝的料條組件

預芯片貼裝、預引線鍵合、預成型封裝和預底部填充
等離子處理功能
圖形用戶界面(GUI)觸摸屏操作便捷
具有生產待料的料條處理系統(tǒng)
等離子腔體緊湊、清洗過程較短，具有專用的過程控
制系統(tǒng)，可實現(xiàn)最大產能和最低成本
生產靈活性無法比擬，支持多種料條尺寸
僅需拉出前方掛架，即可維護服務組件

主要應用

等離子去污和表面清洗

·氟和其他鹵素
·金屬和金屬氧化物
·有機化合物

蝕刻和表面粗化

·提高粘晶和打線的粘合力
·提高塑封膠粘合力，降低分層

表面活化

·提高粘晶膠流動性，消除空洞，提高粘合力
·提高塑封材料流動性，消除空洞，降低打線偏離率
·提高底部填充物流動性，消除空洞，增強粘合力，提高芯吸速度

FlexTRAK-CD

FlexTRAK-CD系統(tǒng)擁有一個等離子腔，每個等離子周期內可處理多達5根料條。均勻處理所有基底表面的同時，始終嚴格控制工藝參數(shù)以獲得可重復性效果。此外，系統(tǒng)還擁有一個獲得專利的等離子體模塊，可實現(xiàn)優(yōu)異的均勻性和跨周期的工藝可重復性。

FlexTRAK-CDS

FlexTRAK-CDS系統(tǒng)具有大容量等離子腔體，每個等離子周期內可處理多達10根料條。均勻處理所有基底表面的同時，始終嚴格控制工藝參數(shù)以獲得可重復性效果

系統(tǒng)核心功能

MARCH FlexTRAK-CD和FlexTRAK-CDS規(guī)格表


項目		內容
外殼尺寸	W(寬)xD(長)xH(高) - 占地面積	FlexTRAK-CD：1068寬x1166長x1600高；高1966mm，帶燈塔（42寬x46長x63高；包含燈塔高度為77英寸）
	W(寬)xD(長)xH(高) - 占地面積	FlexTRAK-CDS：1190寬x1320長x1640高；包含燈塔高度為2114mm（47寬x52長x65高；包含燈塔高度為83英寸
	凈重	FlexTRAK-CD：430公斤（948磅）
	凈重	FlexTRAK-CDS：550公斤（1213磅）
	設備間隙	右邊，左邊，后面 - 254毫米（10英寸），前面 - 940毫米（37英寸）
處理腔體	最大容量	FlexTRAK-CD：5.5升（338立方厘米）
處理腔體	最大容量	FlexTRAK-CDS：9.6升（585立方英寸）
電極	多種電極配置	電源-接地、接地-電源、電源-電源
	工作區(qū)	FlexTRAK-CD：305毫米（寬）x 305毫米（長）（12英寸（寬） x 12英寸（長））
	工作區(qū)	FlexTRAK-CDS：305mm寬x550mm長（12英寸寬x21英寸長）
射頻電源	標配電源	600 瓦
射頻電源	流量計	13.56 兆赫
氣體控制	可用流量	50、100或250標準毫升/分鐘
氣體控制	MFC最多可配置數(shù)	3
控制和接口	軟件控制	外部外設控制器（EPC），配有PC端觸摸屏界面
控制和接口	遠程接口	SMEMA接口、SECS/GEM協(xié)議
真空泵	標準干泵	16立方英尺/分鐘
	選配濕泵	19.5立方英尺/分鐘
	選配凈化干泵	16立方英尺/分鐘
	干泵凈化氮氣用量	2升/分鐘
設施	電源	220 伏交流電，15安培，50/60赫茲，1相，12 AWG3線
	工藝氣體管徑及接口	外徑6.35毫米（0.25英寸）Swagelok管
	工藝氣體純度	實驗室或電子等級
	工藝氣體壓力	最小0.69巴（10磅/平方英寸）至最大1.03巴（15磅/平方英寸），可調節(jié)
	凈化氣體管徑及接口	外徑6.35毫米（0.25英寸）Swagelok管
	凈化氣體純度	實驗室或電子等級 N2/CDA
	凈化氣體壓力	最小2巴（30 磅/平方英寸）至最大6.9巴（100 磅/平方英寸），可調節(jié)
	氣動閥接口及管徑	外徑6.35毫米（0.25英寸）Swagelok管
	壓縮空氣純度	CDA、無油、露點溫度≤7°C（45°F）、粒徑＜5微米
	壓縮空氣壓力	最小3.45巴（50 磅/平方英寸）至最大6.89巴（100 磅/平方英寸），可調節(jié)
	排放	外徑25.4毫米（1英寸）管道法蘭
合規(guī)性	半導體	通過SMEI S2/S8（環(huán)境、健康和安全/人體工學）認證
合規(guī)性	國際	通過CE認證
輔助設備	氣體發(fā)生器	氮氣（需要其他不可選硬件）